6ÔÂ5ÈÕÏÂÎ磬Ǯΰ³¤Ñ§Ôº×é֯ѧÉúǰÍù¹ú¶È³Á´ó¿Æ¼¼»ù´¡ÉèÊ©¡ª¡ªÉϺ£¹âÔ´½øÐÐÁËÏÖ³¡½²Êڻ¡£Ç®Î°³¤Ñ§Ôºµ³Î¯¸±Êé¼Ç¡¢¸±Ôº³¤ÉòÇàËÉ£¬¸±Ôº³¤£¨¹ÒÖ°£©ËïÇ¿¡¢Áìµ¼Ô±Ðí¸»½Ü¼°40ÓàÃûǮΰ³¤Ñ§ÔºÀûÓÃÎïÀíѧ¡¢ÀíÂÛÓëӦʹ¾¢Ñ§µÈרҵѧÉú¹²Í¬²ÎÓë¡£±¾´ÎÏÖ³¡½²ÊڻּÔÚÉîÈëѧÉú¶ÔÇ°ÑØ¿Æ¼¼ºÍ´ó¿ÆÑ§×°ÖõÄÏàʶºÍÒâʶ£¬Òý·¢Í¬Ñ§ÃǵĿÆÑÐÐËÖºʹ´ÐÂDZÄÜ¡£Öйú¿ÆÑ§ÔºÉϺ£¸ßµµ×êÑÐÔº£¨¼ò³Æ¡°¸ßÑÐÔº¡±£©Àî¾ÃÊ¢¡¢Áõ¾ü¡¢ÍõÓ¡¢ÎÄÎÅ¡¢Ð¤Àö¾ýµÈ½ÌԱһ·²Î¼Ó»¶Ó²¢½øÐÐÏÖ³¡½²ÊÚ¡£

ÔÚÉϺ£¹âÔ´»î¶¯ÏÖ³¡£¬Ñ§Êõ»¥»»·ÕΧŨÃÜ¡£»î¶¯ÓɸßÑÐÔº×êÑÐÉú´¦´¦³¤Áõ¾üÖ÷³Ö¡£»î¶¯ÒÁʼ£¬¸ßÑÐÔºµ³Î¯Î¯Ô±¡¢ÔºÎñίԱ¡¢Ñ§ÊõίԱ»á¸±Ö÷ÈΡ¢ÂÌÉ«»¯Ñ§¹¤³Ì¼¼ÊõÖÐÐÄÖ÷ÈÎÀî¾ÃÊ¢Ö´ǡ£Ëû¶Ôб¦GGǮΰ³¤Ñ§ÔºÊ¦ÉúµÄµ½À´°µÊ¾ÈÈÁÒÓ½Ó£¬²¢Ö¸³ö£¬ÉϺ£¹âÔ´×÷Ϊ¹ú¶È¼¶´ó¿ÆÑ§×°Öã¬ÊÇÇ°ÑØ¿ÆÑ§×êÑеijÁҪƽ̨£¬µ«Ô¸Ç®Î°³¤Ñ§ÔºµÄͬѧÃÇÄÜͨ¹ýÕâ´Î»î¶¯½ü¾àÀë¸Ð´¥´ó¿ÆÑ§×°ÖõÄ÷ÈÁ¦£¬Òý·¢¿ÆÑÐÐËÖ£¬ÔÚʵ¼ÊÖÐÉîÈë¶Ô¿ÆÑ§ÖªÊ¶µÄÀí½âÓëÀûÓ㬽«À´Îª¿Æ¼¼´´Ð¹±Ï×Á¦Á¿¡£½ÓÏÂÀ´£¬ÓɸßÑÐÔºÍõÓÂ×êÑÐÔ±×÷¡¶Í¬²½·øÉä¼¼Êõ¼°ÀûÓá·µÄѧÊõ»ã±¨¡£ËûÒÔÏêʵµÄÂÛÊö½áºÏÏÊ»îÊ·ý£¬ÏµÍ³µØÎªÍ¬Ñ§ÃdzöÏÖÉϺ£¹âÔ´µÄ·¢Õ¹ÂöÂç¡¢¹¤×÷µÀÀí¼°ÆäÔÚ¿ÆÑ§×êÑÐÖеijÁÒª³É¾Í¡£

ÍõÓ½ÌÔ±´ÓÉϺ£¹âÔ´µÄµÞÔìÔµÆð¡¢½¨Éè¹ý³Ìæ¸æ¸Â·À´£¬Ìáµ½Ëü×÷ΪÖйú´ó½µÚһ̨µÚÈý´úͬ²½·øÉä¹âÔ´£¬×ÜÌå»úÄܾӹú¼ÊͬÀàÏȽøË®Æ½£¬»¹½éÉܶþÆÚ¹¤³ÌʵÏÖºó34Ïß46Õ¾ÔËÐеÈÇé¿ö¡£Öð²½Éî¿Ì·Ö½âÆäÖ÷Ì⹤×÷µÀÀí£¬½èÖú¡°´Ó¡®ÈýÌ塯½²Æð¡±µÅ×ÐȤ¹ØÁª£¬Ïêϸ½â¶Áͬ²½·øÉä¹âÔ´µÄ²ú³¯ÆøÔ졪¡ªÍ¨¹ý´Å³¡Å¤×ªµç×ӻ·½Ïò£¬Ò»¶Ô»ò¶à¶Ô´ÅÌúƫתµç×Ó²úÉúͬ²½·øÉ䣬ÒÔ¼°Í¬²½·øÉä×÷Ϊµç´Å²¨£¬´ÓÂó¿Ë˹Τ¡¢ÆÕÀʿ˵½°®Òò˹̹µÈ¶ÔÆäÀíÂÛµì»ùµÄÓйØÖªÊ¶£¬»¹ÓÐÔÚË÷Çó΢¹ÛÊÀ½ç¡°³¬µÈÏÔ΢¾µ¡±µÅצÓó¡¾°¡£Ëû»¹³Áµã½éÉÜÁËÉϺ£¹âÔ´ÔÚÎïÀíѧ¡¢ÉúÎïѧ¡¢×ÊÁÏ¿ÆÑ§µÈѧ¿ÆµÄÍ»ÆÆÐԳɾͣ¬º¸Ç¸ß¾«¶È¾§Ìå½á¹¹½âÎö¡¢EUV¹â¿Ì½º¼¼ÊõÍ»ÆÆ£¨ÈçʵÏÖEUVÑÚģȱµã48.5nm¼ì²â·Ö±æÂÊ£©£¬ÒÔ¼°ÉúÎï´ó·Ö×Ó×êÑеijÁÒª½øÕ¹µÈ¡£Í¬Ê±Ìá¼°ÉϺ£¹âÔ´Äê»¶ÓÓû§³¬10000È˴Ρ¢Äê¾ù°ä·¢SCIÎÄÕ³¬1500ƪµÈÔËÐгɾͣ¬·á˶µÄ½â˵ÄÚÈÝ£¬ÈÃͬѧÃǶÔÉϺ£¹âÔ´µÄÇ°ÑØ¿Æ¼¼ÓÐÁ˸üΪÉî¿ÌµÄÀí½â£¬Ò²ÁËÁËÁËͬ²½·øÉä¼¼Êõ½«À´¡°ÉϺ£ÐÂÒ»´úͬ²½·øÉä¹âÔ´¡±µÈ·¢Õ¹Ô¶¾°¡£

ÔÚËæºóµÄ²Î¹Ûʵ¼Ê»·½Ú£¬¸ßÑÐÔºÕý¸ß¼¶¹¤³ÌʦÎÄÎŽÌԱЯ´øÊ¦Éú×ß½øÉϺ£¹âÔ´³¢ÊÔÇø£¬Í¨¹ýʵµØ½²ÊÚ£¬½øÒ»²½ÉîÈë¸÷È˶ԿÆÑÐÉèÊ©µÄÈÏÖªÓëÀí½â¡£
ÎĽÌÔ±Ê×ÏÈ»ØÊ×ÁËÉϺ£¹âÔ´µÄ·¢Õ¹¹ì¼££¬´ÓÏîÖ÷ÕÅ×î³õ¹¹Ë¼£¬µ½Èç½ñ½¨Éè³ÉΪÊÀ½çÒ»Á÷µÄͬ²½·øÉä¹âÔ´£¬Ïêϸ½²ÊöÁËÿһ¸ö³ÁÒª½×¶Î¡£½Ó×Å£¬ÎĽÌÔ±Õ°ÍûÁËÉϺ£¹âÔ´µÄ½«À´·¢Õ¹À¶Í¼£¬½éÉÜÁ˼´½«·¢Õ¹µÄÐÂÏîÄ¿Óë¹æ»®£¬×ųÁÂÛÊö½«À´ÔÚ¿ÆÑкÍÀûÓÃÁìÓòÓÐÍûʵÏֵijÁ´óÍ»ÆÆ¡£ËûÖ¸³ö£¬ÉϺ£¹âԴʼÖÕ¶ÔÖŶÔÉ豸ºÍ¼¼Êõ½øÐÐÉý¼¶ÓÅ»¯£¬´Ó¶ø¸üºÃµØ·þÎñÈ«Çò¿ÆÑÐÊÂÒµ¡£ÎĽÌÔ±»¹½áºÏ¾ßÌåÀûÓð¸Àý£¬¾ßÌå½â˵ÁËÉϺ£¹âÔ´µÄ¶àÔª»¯ÀûÓó¡¾°£ºÔÚÉúÎïҽѧ·½Ã棬½èÖú¸ß·Ö±æÂʳÉÏñ¼¼Êõ½âÎöÉúÎï´ó·Ö×ӽṹ£»Ê¹ÓÃXÉäÏßÓ«¹â·ÖÎö£¬¾«×¼¼ì²âÑùÆ·ÖÐ΢Á¿ÔªËؼ°»¯Ñ§³É·ÖµÄÉ¢²¼£»·¢Õ¹¸ßѹ×ÊÁÏ×êÑУ¬Ë÷Ç󼫶˸ßѹ»·¾³ÏÂ×ÊÁϽṹÓëÐÔÖʵı䶯£»ÀûÓÃÆ¤Ã빦·ò·Ö±æX¹â³ÉÏñ¼¼Êõ£¬×½Äó¬¸ß¿ìÎïÀíºÍ»¯Ñ§¹ý³ÌµÄ¶¯Ì¬Ñݱ䡣ÕâЩ·á˶µÄÊ·ý£¬³ä·ÖչʾÁËÉϺ£¹âÔ´ÔÚÍÆ¶¯¸÷ÁìÓò¿ÆÑ§Ç°ÑØ×êÑÐÖеĹؼü×÷Óã¬Ò²ÈÃͬѧÃÇ¶ÔÆäÏÖʵÀûÓüÛÖµÓÐÁ˸üÉî¿ÌµÄÀí½â¡£

Õâ´ÎÏÖ³¡½²Êڻ£¬ÎªÇ®Î°³¤Ñ§ÔºÑ§×ÓÃÇ´ò¿ªÁËÒ»ÉÈͨÍù¿Æ¼¼Ç°ÑصĴ°¿Ú¡£Í¬Ñ§ÃDz»½öÍØ¿íÁËѧÊõÊÓÒ°¡¢¶Ñ¼¯ÁËרҵ֪ʶ£¬¸üÔÚÓë´ó¹ú³ÁÆ÷µÄÉî¶È½Ó´¥ÖУ¬µãȼÁËͶÉí¿ÆÑÐÊÂÒµµÄÅìÅÈÖܵ½¡£½ü¾àÀë¸Ð´¥´ó¿ÆÑ§×°ÖõÄ÷ÈÁ¦ºó£¬Î°³¤Ñ§×ÓÃǶԽ«À´½ø½¨·½ÏòÓë¿ÆÑз·ÓÐÁ˸üÇ峺µÄ¹æ»®£¬½èÖú´ó¼ÒÒýÁì¡¢´óÏîĿǣÒý¡¢´óƽ̨֧³Ö£¬ÊµÏÖѧÊõ¿ÆÑÐÄÜÁ¦µÄÈ«·½Î»½ø½×¡££¨×«¸å£ºÕÅÊæº£©